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1. 需求設(shè)備基本介紹:
需求設(shè)備為 L3510 ，用于Resist stripper process
晶片尺寸為150-200 mm with notch.
2. 需求整機結(jié)構(gòu):
u The wafer size shall be 150- 200mm.
u Process chamber: One chambers
u Cooling stage: one stage
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