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Asher 去膠機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)：AURA1000
產(chǎn)品品牌：Gasonics
產(chǎn)品類別：光刻膠去膠機(jī)
Gasonic Aura 1000 去膠（打膠）機(jī)是單片臺(tái)式刻蝕系統(tǒng)，可用于3”、4”、5” 及6” 晶片的光刻膠及聚酰氨的刻蝕?？涛g速率高，無(wú)RF損傷。其可靠性高、 適應(yīng)范圍廣已使Aura 1000去膠（打膠）機(jī)成為多用途、高產(chǎn)量半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家的首選。
- 3“-6" wafers
- Strip rate >2 micron/minute
- MKS Pressure Control (Type 252A-1 w/ 253AThrottle)
- Plasma & Lamp Failure Detection
- Endpoint Detection
單片工藝；
去除晶片正面、背面光刻膠
3 ” 4” ，5“及6” 晶片
自動(dòng)傳片系統(tǒng)
紅外光加熱用于工藝溫度控制
熱電偶用于監(jiān)控工藝過(guò)程中晶片溫度
工藝控制終點(diǎn)檢測(cè)
特點(diǎn)：
1. 去膠速率快，是其他設(shè)備的2-3倍
2. 去膠均勻性好
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